การสร้างแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กจากฟิล์มหนา Ni-Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์
ชื่อผู้ทำโครงงาน
ภูมิ ประยูรโภคราช
ชื่ออาจารย์ที่ปรึกษา
ดร.สุภาพ ชูพันธ์
สถาบันการศึกษา
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
ระดับชั้น
ปริญญาโทขึ้นไป
หมวดวิชา
ฟิสิกส์
วัน/เดือน/ปี ทำโครงงาน
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อ
ในงานนี้แผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกสร้างจากฟิล์มหนาของ Ni-Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์ลงบนฐานรองอะลูมินาขนาด 6 มม. x 6 มม. โดยมีเงื่อนไขการสปัตเตอร์ฟิล์มหนาของ Ni-Cr คือ ใช้เวลาสปัตเตอร์ 60 และ 90 นาที ที่ความดันก๊าซอาร์กอน 2 และ 5 มิลลิทอร์ ตามลำดับ แบบของแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กสร้างโดยการกัดฟิล์ม Ni-Cr ด้วยเลเซอร์ Nd:YAG โดยมีขนาดความกว้างของลวดลาย / ขนาดของช่องว่าง 350 /350ไมโครเมตร, 500 / 500 ไมโครเมตร และ 1000 / 1000 ไมโครเมตร หลังจากกระบวนการกัดฟิล์มแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกทดสอบโดยจ่ายกระแสไฟฟ้าที่ความต่างศักย์ไฟฟ้าต่างๆ แล้วทำการสังเกตอุณหภูมิ พบว่าแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กที่ถูกสร้างขึ้นสามารถสร้างอุณหภูมิได้สูงกว่า 400 oC
คำสำคัญ
ร้อน,เล็ก,ฟิล์ม,หนา,วิธี,สปัตเตอร์
ประเภท
Text
ลิขสิทธิ์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
ผู้แต่ง หรือ เจ้าของผลงาน
ภูมิ ประยูรโภคราช
ระดับชั้น
ม.4, ม.5, ม.6
กลุ่มเป้าหมาย
ครู, นักเรียน
คุณอาจจะสนใจ
Hits
(100278)

ให้คะแนน
เครื่องกลั่นน้ำมันหอมระเหย ที่ประดิษฐ์จากวัสดุเหลือใช้ตามหลักการนำกลับมาใช้ใหม่ (Recycling) ...
Hits
(76802)

ให้คะแนน
Shiga-like toxin (SLT), which is produced by E.coli O157:H7, the most widespread strain, is ...
Hits
(77634)

ให้คะแนน
ในบทความนี้เราสนใจว่านักคณิตศาสตร์ใช้คำว่า “ผลหาร”เมื่อใด ...