การสร้างแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กจากฟิล์มหนา Ni-Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์
ชื่อผู้ทำโครงงาน
ภูมิ ประยูรโภคราช
ชื่ออาจารย์ที่ปรึกษา
ดร.สุภาพ ชูพันธ์
สถาบันการศึกษา
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
ระดับชั้น
ปริญญาโทขึ้นไป
หมวดวิชา
ฟิสิกส์
วัน/เดือน/ปี ทำโครงงาน
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อ
ในงานนี้แผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกสร้างจากฟิล์มหนาของ Ni-Cr ที่เตรียมด้วยวิธีการสปัตเตอร์ลงบนฐานรองอะลูมินาขนาด 6 มม. x 6 มม. โดยมีเงื่อนไขการสปัตเตอร์ฟิล์มหนาของ Ni-Cr คือ ใช้เวลาสปัตเตอร์ 60 และ 90 นาที ที่ความดันก๊าซอาร์กอน 2 และ 5 มิลลิทอร์ ตามลำดับ แบบของแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กสร้างโดยการกัดฟิล์ม Ni-Cr ด้วยเลเซอร์ Nd:YAG โดยมีขนาดความกว้างของลวดลาย / ขนาดของช่องว่าง 350 /350ไมโครเมตร, 500 / 500 ไมโครเมตร และ 1000 / 1000 ไมโครเมตร หลังจากกระบวนการกัดฟิล์มแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กถูกทดสอบโดยจ่ายกระแสไฟฟ้าที่ความต่างศักย์ไฟฟ้าต่างๆ แล้วทำการสังเกตอุณหภูมิ พบว่าแผ่นทำความร้อนขนาดเล็กที่ถูกสร้างขึ้นสามารถสร้างอุณหภูมิได้สูงกว่า 400 oC
คำสำคัญ
ร้อน,เล็ก,ฟิล์ม,หนา,วิธี,สปัตเตอร์
ประเภท
Text
ลิขสิทธิ์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
ผู้แต่ง หรือ เจ้าของผลงาน
ภูมิ ประยูรโภคราช
ระดับชั้น
ม.4, ม.5, ม.6
กลุ่มเป้าหมาย
ครู, นักเรียน
คุณอาจจะสนใจ
Hits
(81650)
ให้คะแนน
งานวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อหาเปอร์เซ็นต์การตายของเอ็มบริโอของกุ้งก้ามกรามอายุ 20 ...
Hits
(75776)
ให้คะแนน
ตัวอ่อนแมลงปอเข็มในเขตอำเภอเมือง จังหวัดขอนแก่น ...
Hits
(75061)
ให้คะแนน
The study was carried out to examine the bird species diversity at Kho Hong Hill, Prince of ...