รังสีเอกซ์ที่เกิดขึ้นเมื่ออิเล็กตรอนพลังงานสูงเข้าชนอิเล็กตรอนของอะตอมที่เป็นเป้า ทำให้อิเล็กตรอนในวงโคจรชั้นในหลุดออกมา อิเล็กตรอนในวงโคจรถัดออกมาซึ่งมีพลังงานสูงกว่า จะเข้าไปแทนที่พร้อมกับปล่อยพลังงานในรูปรังสีเอกซ์ที่มีค่าเฉพาะ เรียกว่า รังสีเอกซ์เฉพาะตัว (ดู X-rays)